火灾自动环保型闭门器表面磁控溅射镀膜关键技术的研究

发布时间：2024-03-07 18:34

　　火灾自动闭门器的质量和寿命在国内备受关注,目前大多对闭门器表面处理均采用带有污染性的化学电镀工艺。为解决这一污染环境问题,本文阐述了一种可取代传统湿式电镀或电解镀技术的真空镀膜技术,能够在具有非同一平面内且具有一定复杂外形结构的自动环保型闭门器的表面,涂有均匀厚度、致密且连续的功能性薄膜。分别从逐级式的过渡沉积、离化率和均一性调控进行研究,验证磁控溅射镀膜的先进性。

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【部分图文】：

图2平衡磁场和非平衡磁场

磁控溅射镀膜与其他真空镀膜技术相比，其具有一定的功能优势，因为磁场的加入导致靶材粒子的运动活性增加，提高了离化率和工作效率。目前，平衡磁场和非平衡磁场是磁控溅射磁场分布的主流[7]，如图2所示。2.1逐级式的过渡沉积

图3旋转式柱状磁控溅射靶结构示意图

闭门器表面在磁控溅射镀膜过程中，如果采用单非平衡磁控溅射靶，会存在一些问题，如单个阴极靶作为磁控溅射靶，磁场分量对平面溅射产生不均匀的溅射效应，导致靶面形成凹入的蚀环。而在对闭门器表面进行多次沉积镀膜时，由于不均匀、反向和选择性溅射等现象，膜与工件以及膜层之间的结合不可靠，导致镀....

图1火灾自动环保闭门器示意图

随着我国城市工业的发展，特别是房地产业规模不断扩大，生产、生活及消防等社会各领域对自动闭门器的质量和寿命要求越来越高，特别是具有火灾自动闭门器的质量和寿命更加关注[1]。由于生产条件及品质原因，国内厂家生产的闭门器产品大多不能达到欧美防火闭门器相关指标，特别是使用寿命一项，目前国....

本文编号：3921563