以物理气相传输法自支撑生长氮化铝单晶的表征（英文）

发布时间：2024-03-17 12:54

　　提出了用物理气相传输法自支撑生长氮化铝单晶的新方法,此方法可以在氮化铝烧结体表面一次性获得大量生长的氮化铝单晶。在2373～2523 K的温度条件下经过100 h生长的氮化铝单晶,其最大尺寸为7 mm×8 mm×12 mm,典型直径为5～7 mm。这些原生晶体的表面形貌及结晶质量分别通过扫描电子显微镜、拉曼光谱和高分辨X射线衍射进行表征分析。拉曼光谱E₂峰位的半高全宽为5.7 cm^-1,高分辨X射线衍射得到的对称摇摆曲线的半高全宽为93.6弧度秒。经过选择性化学腐蚀后的晶体,其表面的平均腐蚀坑密度为7.5×10⁴cm^-2。逸出气体分析和辉光放电质谱分析结果表明,碳和氧为晶体内部的主要杂质元素,含量分别为28和120μg/g。此方法为高质量氮化铝单晶的获取提供了一个新的途径,这些单晶可以被切成晶片作为后续氮化铝同质外延生长的优良籽晶。使用这些小的籽晶,成功制备出了直径高达60 mm的氮化铝单晶体/晶圆,并具有良好的深紫外光透过性。

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【文章目录】：
1 Experiment
2 Results and Discussion
    2.1 Growth rate analysis
    2.2 Surface morphologies of as-grown crystals
    2.3 Structural quality of as-grown crystals
3 Conclusions



本文编号：3931059