贺德建, 导师:张鸿海,刘胜,纳米压印光刻技术原理与实验研究

  本文关键词：纳米压印光刻技术原理与实验研究，，由笔耕文化传播整理发布。

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文献名称：纳米压印光刻技术原理与实验研究

    前言：本文介绍了纳米压印光刻技术的原理并进行了相关的实验研究,目的在于研究采用纳米压印光刻技术制备三维微结构的工艺,以促进此项技术更快的走向广泛的实际应用。本文首先介绍了纳米压印光刻技术的原理,以及纳米压印光刻技术的趋势和面临的挑战,并针对这些挑战提出了可能的解决方案。为了满足纳米压印光刻技术研究的需要,本文研制了纳米压印光刻机。该光刻机可以同时满足热软化纳米压印光刻和光固化纳米压印光刻的需要,并能够适应从纳米级到毫米级各种尺寸范围微结构加工的需要。在该纳米光刻机的设计中,一种新型的楔形补偿模块被研制,该模块避免了国外设计中存在的问题,提高了图形加工的均匀性,而且还具有过载保护的辅助功能。针对光刻胶力学性能测试的要求,本文研制了一台聚合物单轴试验机,该试验机能够同时对温度和压力加载,以测试聚合物光刻胶在不同温度下的力学性能。试验机的研制还包含了一种高精度六维力传感器的研制,该传感器通过新颖的基体结构设计和巧妙的布片方案实现了结构解耦,大大简化了信号处理电路的设计并降低了成本。本文还进行了与温度相关的光刻胶力学特性研究。这些研究对纳米压印光刻工艺中温度、压力等参数的控制具有指导性的意义。此外,...
    The thesis presents the principle and experimental study of nanoimprint lithography. The primary objective is to investigate the application of nanoimprint lithography in three-dimensional micro-structure fabrication and to study the process control of nanoimprint lithography.In this thesis, a nanoimprint system is designed and set up. This nanoimprint system is designed to be suitable for both thermal nanoimprint lithography and UV-curing nanoimprint. Furthermore, it performances very well in 3-D micro-...

文献名称 纳米压印光刻技术原理与实验研究

Article Name
英文(英语)翻译 Research on Principle and Process Control of Nanoimprint Lithography;

作者 贺德建; 导师:张鸿海; 刘胜;

Author

作者单位
Author Agencies 华中科技大学;

文献出处
Article From 中国科学院上海冶金研究所; 材料物理与化学(专业) 博士论文 2000年度

关键词 纳米压印光刻; 光刻技术; 三维微加工; 纳米加工;

Keywords Nanoimprint Lithography;Hot Embossing;Lithography;Nano-fabrication;

高保真度五步加载纳米压印光刻的研究
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  本文关键词：纳米压印光刻技术原理与实验研究，由笔耕文化传播整理发布。