化学计量比对BaTiO 3 /Ni集成结构性能的影响

发布时间：2024-06-13 18:26

　　该文采用化学溶液沉积法——高分子辅助沉积(PAD)法在多晶镍基片上成功制备了钛酸钡(BaTiO3)薄膜,并研究了前驱体溶液化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构漏电特性和介电性能的影响。实验表明,钛过量的薄膜样品可能出现二氧化钛相,适宜浓度的钛过量可以降低BaTiO3/Ni集成结构1个数量级的漏电流密度,减少介电损耗约50%,并能有效提高集成结构的介电常数。对BaTiO3薄膜的漏电流导电机制进行了分析,并对钛过量影响集成结构的漏电特性和介电性能的原因进行了讨论。

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【文章目录】：
1实验方法
2实验结果及讨论
    2.1样品的成分表征
    2.2漏电性能分析
    2.3介电性能分析
3结束语



本文编号：3993468