有机电致发光器件：ITO/TPD/Aiq 3 /Al的制备工艺及性能研究

发布时间：2022-10-15 12:40

　　使用真空蒸发沉积技术和直流辉光等离子体辅助反应蒸发沉积技术 制备了四层结构的有机电致发光器件：ITO/TPD/Alq₃/Al，对制得的器件 进行了电学和光学性能的测试。在实验过程中，详细地研究了有机层厚 度对器件的电学性能和光学性能的影响。同时测试了有机层膜的电阻率 参数，研究了有机层能级结构和分布等这些物理量与器件的电学性能和 光学性能间的关系。 

【文章页数】：50 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
中文摘要
第一章 有机电致发光器件的研究意义及概况
    第一节 有机电致发光器件的特点、种类及应用
    第二节 有机电致发光器件的工作原理
    第三节 有机电致发光器件的研究现状
    第四节 论文研究目标
第二章 真空蒸发沉积工艺和直流辉光等离子体辅助蒸发沉积工艺
    第一节 真空蒸发沉积工艺
    第二节 直流辉光等离子体辅助蒸发沉积工艺
第三章 制备有机电致发光器件及关键器件工艺的研究
    第一节 有机电致发光器件的制备
    第二节 ITO膜的电学参数对器件性能的影响
    第三节 有机膜的制备对器件性能的影响
    第四节 上电极Al电极对器件性能的影响
第四章 器件的测试、结果与分析
    第一节 表征器件电学性能与光学性能的主要参数
    第二节 器件的测试、结果与分析
第五章 小结
参考文献
攻读学位期间已接收和已撰写的论文
致谢



本文编号：3691323