不同反应气氛下氢终止金刚石表面的活化性能

发布时间：2021-12-22 07:21

　　为了探究金刚石沉积过程中不同反应气氛下萃取基团对金刚石表面活化的影响,基于金刚石的同质外延生长机理,采用第一性原理平面波赝势方法分析了三种萃取基团（H、OH、Cl）在氢终止的金刚石[100]表面的吸附难易程度;并通过过渡态搜索计算,获得了CH4/H2,CH4/H2/CH3COCH3,C2H5Cl/H2三种反应气氛下金刚石氢终止表面产生活性位点的反应热及活化能。经对比分析后发现,H、OH、Cl在氢终止金刚石表面的吸附能逐渐增强,且Cl萃取金刚石表面氢原子产生活性空位的能垒最低。因而,在传统的CH4/H2气氛中引入氧元素或氯元素能有效降低金刚石表面活化所需的能量。 

【文章来源】：人工晶体学报. 2019,48(03)北大核心

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
1 引言
2 几何建模与计算方法
    2.1 基底模型建立
    2.2 吸附能
    2.3 过渡态搜索
3 结果与讨论
    3.1 吸附能差异分析
    3.2 反应热及能垒
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]Co元素对硬质合金基底金刚石涂层膜基界面结合强度的影响[J]. 简小刚,陈军.  物理学报. 2015(21)
[2]第一性原理研究Zn偏析对CuΣ5晶界的影响[J]. 孟凡顺,李久会,赵星.  物理学报. 2014(23)

硕士论文
[1]高品质CVD金刚石的合成及其在刻刀方面的应用研究[D]. 郑艳彬.吉林大学 2010



本文编号：3545994