大口径大视场望远镜探测器平面度检测方法综述

发布时间：2024-04-27 04:38

　　为了更好地适应大口径大视场望远镜的成像要求,在相机焦平面拼接多个CCD使其能够覆盖望远镜的全视场成为大口径大视场望远镜光学相机设计的重点。本文系统地总结了当前国内外探测器平面度测量方法的最新研究进展,对比了应用较广的扫描白光干涉仪、三角激光测量仪以及激光同轴位移器的特点。文章还结合了国外大口径大视场望远镜中的相机焦平面靶面拼接特点,对其测量方法及设备进行了详细介绍和总结分析,为大口径大视场地基光电望远镜焦平面拼接探测器的平面度测量提供一定的经验参考。

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【部分图文】：

图1光学系统成像原理图

在焦深范围内,成像质量仍然能满足光学系统性能需求。光学系统成像原理图如图1。由此可知对于给定的光学系统,CCD靶面倾角误差应严格地限制在焦深范围,否则将使部分靶面脱离光学系统像面,在光学系统视场范围内使得图像有虚有实,达不到系统的使用要求[3]。

图2加州大学/利克天文台用于CCD平面度测量的装置示意图[5]

该系统由一个激光器、一个放置CCD的X-Y平移台、两个反射镜和一个用于探测反射激光束位置的照相机组成。激光束由第一面镜子定向到被测表面上,然后从CCD表面反射到第二个镜子引导光束到相机探测系统。如果移动被测CCD,其表面的局部坡度发生变化,相机就会记录下光点的移动。通过扫描整个表....

图3RGO测量方法光学原理图[5]

这种技术的缺点是CCD必须是处于接通电源以及冷却状态的,并且冷却需要很长时间,这大大延长了校正周期所需的时间,包括测量地形、校正倾斜度以及再次测量。所以需要很长的测量周期,此外,它还无法测量机械样品。3.4干涉仪测量法

图4干涉仪测量原理图[7]

通过在干涉仪的一支光路中引入被测量,干涉仪的光程差就会发生变化,干涉条纹也会随之变化,这时可测量出干涉条纹的变化量,就可以获得与介质折射率和几何路程有关的一系列物理量和几何量[6]。干涉仪测量原理图如图4所示。为了重建CCD的形状,需要分析了非常窄的带通光条纹图,CCD之间的拼接....

本文编号：3965364