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精密电动反射镜架的结构设计与动态特性分析

发布时间:2023-09-29 01:29
  设计了一种精密电动反射镜架的机械结构,通过微驱动装置的设计调试以及并联驱动机构的解耦运算,使设计的电动反射镜架达到±7.5 mrad的运动行程、0.3μrad的单步分辨率。对反射镜架进行了有限元模态分析,得到了其固有频率及所对应的模态振型;在此基础上,对电动反射镜架的动态特性进行了实验测试,根据模态分析与动态特性测试的结果,对反射镜架进行了随机振动分析,验证了反射镜架在地脉振动影响下的稳定性指标优于0.5μrad。

【文章页数】:11 页

【文章目录】:
1 引 言
2 精密电动反射镜架的结构设计
    2.1 反射镜的支撑方式及运动方式设计
    2.2 柔性铰链与微驱动装置的设计
    2.3 并联驱动机构解耦
    2.4 精密电动反射镜架的整体设计
3 精密电动反射镜架模态分析
    3.1 模态分析的简化模型
    3.2 驱动模块的刚度计算
    3.3 模态分析结果
4 精密电动反射镜架的动态特性测试
    4.1 模态测试方案
    4.2 模态测试结果
    4.3 模态分析结果与模态测试结果对比
5 电动反射镜架的随机振动分析
6 结 论



本文编号:3849014

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