白光干涉垂直扫描测量算法综述

发布时间：2024-02-28 01:14

　　白光干涉测量是采用具有一定光谱宽度的白光代替单色光作为干涉光源进行测量的特殊干涉测量技术。根据白光干涉信号的相干长度短、相干峰非常明显的特性,采用了垂直扫描干涉测量的方式获取干涉信号。相干峰寻址法是在垂直扫描测量的基础上提出的,具有较高的计算精度和较大的适用性。本文将相干峰寻址法的11种算法分为直接求解法、包络曲线拟合法和加权平均法三类进行阐述,并通过仿真每种算法分析各种算法的优缺点以及适用性和局限性。

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【部分图文】：

图1迈克尔逊白光干涉系统

白光干涉测量解决了单色激光干涉测量的量程较小,精度不足的问题,在干涉定位和非接触式测量方面有广泛的应用[1]。白光干涉多采用垂直扫描法进行测量,如图1所示。光源出射光准直后被分光镜(BS)分束,分别到达测试面和标准面后得到表面信息,反射光束再被BS合束后到探测器,采用压电陶瓷(P....

图2模拟白光干涉信号

相干峰寻址法根据白光信号相干长度短、相干峰明显的特性提出的:以高度不同的两点为例,扫描测量的过程中两点依次出现相干峰,以相干峰峰值点的位置为参照,两个相干峰峰值点在Z轴上的差值就是两点的高度差,如图3所示。实现相干峰寻址法的具体算法很多,不同的算法具有不同的相干峰定位精度和不同的....

图3相干峰寻址法

图2模拟白光干涉信号2白光扫描干涉信号算法

本文编号：3913244