玻璃改性工艺用真空装备控制系统研究

发布时间：2024-03-07 03:32

　　真空磁控溅射镀膜生产线是制备低辐射玻璃、ITO导电玻璃和CIGS薄膜太阳能电池玻璃的关键设备,具有巨大的市场需求量。中国的玻璃镀膜自动化生产线起步较晚,长期以来主要依赖于进口,控制系统直接关系到企业的安全高效生产,因此加快自主研发真空磁控溅射玻璃镀膜生产线对于企业具有重要意义。根据国内某公司的实际生产需求,结合真空磁控溅射法的原理,对镀膜玻璃真空装备生产线控制系统展开研究。首先针对玻璃镀膜生产线复杂生产工艺问题,使用SoildWorks软件设计单个真空腔体结构,采用ANSYS Workbench 18.0软件对单个真空室进行模态分析。其次研究工艺过程控制中真空环境控制系统、真空泵组的运行策略、传动控制系统和真空室温度控制系统等各个子系统。然后,重点研究了CIGS薄膜太阳能电池玻璃制备过程中的温度控制系统,为提高控制系统的响应速度和稳定性,创建温度控制系统数学模型,使用MATLAB软件仿真模拟分析模糊自适应PID控制算法与传统PID控制算法之间的优缺点,并应用于实际工程中。最后研究了生产线控制系统的总体设计,采用两台西门子S7-400系列PLC作为下位机控制核心,WinCC7.0组态作为...

【文章页数】：86 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图1Low-e玻璃Fig1Low-eglass

的热量消耗占整个建筑物围护结构耗热量的50%以业正处于快速发展的时代，低辐射镀膜玻璃和光势，在构建节能、环保以及光伏一体化绿色建筑艺用真空装备是生产低辐射镀膜玻璃（Low-E玻璃膜玻璃[3]）以及CIGS薄膜太阳能电池背电极[4]等段高本底真空度和工艺溅射期间真空度的稳定....

图2磁控溅射工作原理图

图2磁控溅射工作原理图Fig2SchematicdiagramofmagnetronsputteringLow-E玻璃主要有两种方法[11]:一是在线Low-E线Low-E玻璃镀膜工艺即当浮法玻璃尚处于熔融金属的溶液或粉末，与熔融的玻璃结合或发生化面形成低....

图3动态磁控溅射示意图

图3动态磁控溅射示意图Fig3Schematicdiagramofdynamicmagnetronsputtering国内真空磁控溅射镀膜生产线自动化水平偏低，根据国内某公，结合磁控溅射法的原理，对镀膜玻璃真空装备控制系统进行法与自动化加工技术结合，以玻璃镀膜控制....

图4真空腔体三维模型

计传输控制系统，对玻璃位置定位和长度测量进行研究。.1真空腔体结构首先使用SolidWorks软件对单个真空腔体建立三维模，并将模型导入ANSYorkbench18.0中的模态分析模块，得出前六阶模态频率。当真空泵工作时，电励磁频率和谐波频率应尽量避免腔体的模态频率，....

本文编号：3921324