MBSE在光刻系统校准仿真中的应用

发布时间：2023-03-23 20:35

　　随着光刻系统复杂程度的提升,传统基于文档的系统开发方法,在保持设计文档间一致性及变更影响分析的困难程度也越发提升。特别是光刻系统涉及不同学科的工程模型,这些模型在文档载体中,不能完整得体现整个系统模型的设计结果。故本文采用基于模型的系统工程MBSE开发方法建立数字系统模型弥补传统方法存在的问题。文中采用的建模语言为SysML、使用Cameo System Modeler作为开发工具。以光刻系统中的校准模块为例,描述了MBSE在光刻系统校准仿真中的应用。

【文章页数】：4 页

【文章目录】：
1 概述
2 OOSEM开发流程
3 光刻系统的校准仿真
    3.1 运动台旋转中心校准。
    3.2 建模配置。
    3.3分析干系人要求
        3.3.1场景分析流程。
        3.3.2建立场景域 (无流定义) 。
        3.3.3创建用例。
        3.3.4建立交互场景。
        3.3.5建立场景域 (含流定义) 。
        3.3.6系统接口与流定义。
        3.3.7 校准模块黑盒。
        3.3.8 校准模块参数分析。
4 结论



本文编号：3768704