多用途实验用真空气氛炉的研发与应用

发布时间：2024-04-21 03:50

　　多用途实验用真空气氛炉主要用于真空或氢气气氛中对各类材料进行烧结、退火等工艺。本系统最高温度可达2100℃,冷态极限真空度优于5×10^-5 Pa,热态极限真空度优于5×10^-4 Pa,温度均匀性满足±5℃,实现了工艺过程对高真空环境、高温环境、气氛环境的要求。控制系统采用西门子公司的S7-1200系列PLC,监控系统采用紫金桥Real Info组态软件,可以实现在不同环境下的多用途自动工作,并对工作过程进行记录。实际测试表明,该系统占地面积小、运行安全可靠、能够满足不同的工艺需求。

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【部分图文】：

图1多用途实验用真空气氛炉主要结构示意图

多用途实验用真空气氛炉主要由工作室、真空系统、气路系统、水路系统、架台以及控制柜、变压器柜和外部配线等组成，如图1所示。1.1工作室

图2控制系统结构

为实现多用途实验用真空气氛炉自动控制，设计了如图2所示控制系统，主要由工控机、S7-1200PLC(ProgrammableLogicController）、仪表、模块及真空泵、真空阀门、气缸、位置传感器等信号组成。控制系统由工控机、S7-1200PLC、真空计、温控仪表等....

图3自动控制流程图

过程监控系统是在紫金桥RealInfo监控组态软件平台上设计的数据管理程序，编写的软件具有操作简便、界面友好的特点，具有用户权限登陆、工作状态监控、参数设定、曲线设定、数据采集、历史数据报表、压升率测试、历史曲线、控制操作等功能。程序开始运行时，输入正确的用户名和密码后，即自动....

图4真空环境工艺流程示意图

真空环境工艺流程如图4所示。气氛环境工艺流程如图5所示。

本文编号：3960373