晶圆制造自动化物料运输系统轨道布局优化及调度研究

发布时间：2024-02-07 00:16

　　近十年来国内半导体企业在产品研发、技术创新方面得到了长足发展,半导体制造技术逐步走向世界顶端。近年我国大力发展晶圆制造业,根据SEMI统计,2017至2020年全球计划兴建晶圆厂62座,其中26座将落户中国,占比达40%。晶圆厂建设中自动化物料运输系统(Automated Material Handling System,AMHS)设计是极其重要的组成部分之一,AMHS的轨道布局质量及其运行效率将直接影响整个晶圆厂的效益。因此对AMHS轨道布局优化与调度(包含调度任务匹配与调度路径优化)展开研究,具有重要意义。本文主要从轨道布局优化、调度任务匹配、调度路径优化三方面展开研究。(1)基于离散事件仿真的AMHS轨道布局优化研究。基于网络流模型对晶圆厂车间区域布局进行初步设计,得到较优车间区域布局;在此布局基础上采用离散事件方法仿真对运输轨道布局进行优化,分别将捷径数量、小车运行速度、小车数量作为研究变量,通过实验仿真结果对比,得出捷径数量、小车运行速度、小车数量对生产性能产生一定的影响,并研究之间的相关性,对于物料运输系统配置具有参考意义。(2)基于遗传混合启发式规则的Interbay物料...

【文章页数】：70 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图1IC制造流程图

寻找可以有效提高AMHS调度运行效率的方法，对提高晶圆厂市场竞争力具有要现实意义。1.1.2课题来源本课题来源于国家自然科学基金项目：大规模复杂随机晶圆制造自动化物料运输统实时多目标调度研究，项目编号：U1704156。1.2半导体晶圆制造工艺流程我国IC（Integr....

图2300mm典型晶圆制造AMHS在晶圆运输过程中，空载小车沿着轨道单向运行，当仓库存储端口有需要运输的晶

2.1引言AMHS轨道布局对降低晶圆制造成本具有重要作用[28]，因此轨道布局设计是晶圆制造成本控制的重要部分之一。轨道布局与车间区域布局具有一定相关性，想要对轨道布局进行优化，需要有一个确定的车间区域布局。车间区域布局完成后，对轨道布局进行优化，轨道布局的优劣将会直接影响到....

图3离散简化Interbay物料运输系统

运输小车之间不能互相超越[29]。AMHS的物料运输是连续的，为了对整个Interbay物料运输系统更好的描述和分析，首先进行离散化处理，仅仅考虑各运输小车在仓库装卸点位置的状态，将连续的自动化物料运输系统离散化处理过程如下。设定(m)为具有辆运输小车的Interba....

图4网络流有向图

图4网络流有向图作“1”，若定点间无联系则用“下关联矩阵是通过有向图2.3得123401100000010110000001有向边，分别记作={,,A，元素取值规则如下：1, 节点为起点，节点....

本文编号：3896438