用于气相沉积的微波等离子技术研究

发布时间：2024-03-20 01:54

　　随着5G基站、云计算、数据中心等概念的提出,对光纤技术不仅提出了量的需求,也要求光纤技术发展需满足新应用的需求。光纤装备技术是光纤技术的基石,其中采用等离子体装备技术可以实现多种大容量新型光纤技术的开发,具有广泛的应用前景和重大的研究价值。本文是对新型光纤技术的微波等离子技术研究,主要研究成果如下:(1)详细阐述了光纤预制棒制造的四种方法,比较了这四种方法的优缺点,分析了PCVD技术在我国光纤制造行业的地位,也分析并总结了当前我国光纤制造公司在PCVD技术上对等离子微波系统装置的研究与改进。(2)分析了微波等离子体技术中的关键点问题,主要通过两方面,首先从微观上考虑,主要研究了等离子体的基本特性与等离子体化学反应的机理,然后宏观上考虑,引出了微波等离子体装置,重点介绍了微波等离子装置中的矩形波导与微波谐振腔。(3)通过相关仿真软件,完成了对波导与微波谐振腔的仿真,并且通过相关参数的比较,得出了波导与微波谐振腔的最佳模型,并根据模型研制出实物,替换了原有的波导与微波谐振腔。(4)通过替换原有的波导与谐振腔,完成了光纤预制棒与光纤的制造,并且通过相关测试,主要包括光纤预制棒的剖面折射率测试...

【文章页数】：66 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图4-2标准矩形波导模型

武汉邮电科学研究院硕士学位论文34上，需要对模型具体信息进行设置，比如：模型材料的选择，模型的边界条件的设置、模型是否具有端口激励等。在求解设置上，主要是选择求解的指定频率，其他设置一般可以默认，由于在HFSS仿真的运算中，是全自动的，运算结束后，可以根据自己所需，获得需要的数据....

图4-3标准矩形波导电场分布图

武汉邮电科学研究院硕士学位论文35束后，选择该矩形波导，得到该矩形波导的电场分布图，如图4-3所示。图4-3标准矩形波导电场分布图由图4-3可知，对于标准矩形波导，该矩形波导电场分布是由无数个圆组成，由于每个圆的电场强度类似，只针对一个圆来分析，该圆电场是一种中间电场强度最大，然....

图4-4渐变式压缩波导结构

武汉邮电科学研究院硕士学位论文36图4-4渐变式压缩波导结构图4-5阶跃式压缩波导结构从理论上说，微波进入压缩波导输入端口，由于波导发生形变，使微波在波导的输出端出现端面截止，进而提高了电场强度，为了验证这两种压缩波导的合理性，通过HFSS电磁仿真软件进行比较。打开电磁仿真软件H....

图4-5阶跃式压缩波导结构

武汉邮电科学研究院硕士学位论文36图4-4渐变式压缩波导结构图4-5阶跃式压缩波导结构从理论上说，微波进入压缩波导输入端口，由于波导发生形变，使微波在波导的输出端出现端面截止，进而提高了电场强度，为了验证这两种压缩波导的合理性，通过HFSS电磁仿真软件进行比较。打开电磁仿真软件H....

本文编号：3932775