电子级多晶硅生产关键工艺分析

发布时间：2024-05-18 09:48

　　文章介绍了几种常见的电子级多晶硅生产技术,分析了我国在该项目中的主要特征和优势,并指出在生产电子级多晶硅时应注意的关键工艺,以期为有关部门提供参考。

【文章页数】：2 页

【文章目录】：
1 常见电子级多晶硅的生产技术
    1.1 硅烷CVD法
    1.2 改良西门子法
    1.3 气液沉积法
2 我国生产电子级多晶硅的主要项目特征与优势
    2.1 提升了控制精馏装置的水准
    2.2 明显提高了产品的质量
    2.3 低温SiCl4转化技术的应用优势
3 生产电子级多晶硅时应注意的关键工艺
    3.1 生产原辅料
    3.2 工艺硬件
    3.3 项目还原工艺
    3.4 其余关键工艺要点
4 结束语



本文编号：3976755