罗跃生, 导师:谈振藩,硅微型陀螺仪的力学分析和数学模型

  本文关键词：硅微型陀螺仪的力学分析和数学模型，由笔耕文化传播整理发布。

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文献名称：硅微型陀螺仪的力学分析和数学模型

    前言：硅微型振动陀螺仪是随着微电子技术和微机械加工技术的发展而研制出的一类新型角速率传感器。这类陀螺仪在工作时，用微幅振动代替高速旋转，从而使它可以具有体积小，重量轻以及成本低，可靠性高，易于批量生产和便于与电子线路集成等传统陀螺仪无法比拟的优点。预计在以后的几年里这类新型角速率传感器——硅微型振动陀螺仪——也会作为一种成熟的产品广泛的应用于军用和民用的许多领域。 陀螺仪性能的好坏直接制约着它的用途。因此，如何提高硅微型振动陀螺仪的精度，是它走向市场首要解决的问题。而要提高硅微型振动陀螺仪的精度，首先要掌握硅微型振动陀螺仪的工作机理。为此本文研究了几种典型的硅微型振动陀螺仪的基本运动规律，，建立了相应的数学模型，最后分析了它们的工作规律。其主要工作(创新点)归纳如下： 1．研究了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的基本结构，详细讨论了它的工作原理。利用牵连运动的加速度合成定理，通过严格的力学分析和严密的数学演算首先得到其活动质量当陀螺仪在惯性坐标系中作定常角速度转动时的加速度表达式。并利用牛顿力学定律推导了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪工作时所满足的精确的微分方程模型。而且在不同情况下对数...
    Silicon micromechanical vibration gyroscopes are a new kind of sensors for measuring the inertial angular velocity and they have been developed with the microelectronic technology and micromaching technology. Owning to using of the microamplitude vibration instead of high-speed rotation, the new sensors have many advantages over the conventional gyroscopes, such as smaller size, less weight, lower cost, higher reliability, being able to be produced in batch and to be integrated with electronic circuits, and...

文献名称 硅微型陀螺仪的力学分析和数学模型

Article Name
英文(英语)翻译 Dynamic Analysis and Mathematical Model of Silicon Micromechanical Vibration Gyroscope;

作者 罗跃生; 导师:谈振藩;

Author

作者单位
Author Agencies 哈尔滨工程大学;

文献出处
Article From 中国科学院上海冶金研究所; 材料物理与化学(专业) 博士论文 2000年度

关键词 硅微陀螺仪; 微分方程模型; 加速度合成定理; 牛顿力学定律; 欧拉动力学方程; 硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪; 振动轮式微机械陀螺仪; 音叉式（梳状）线振动硅微陀螺仪; 框架式硅微角振动陀螺仪; 内框驱动双框架式硅微角振动陀螺仪;

Keywords micromechanical silicon gyroscopes;differential equation model;composition theorem of acceleration;Newton's mechanics laws;Euler's dynamics equation;lateral comb drive micromechanical silicon gyrosc

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