柱面的全息检测

发布时间：2024-02-15 05:56

　　非球面光学元件是现代大型光学系统重要的组成部分,随着光学技术的发展,光学系统对各种面形的高精度光学元件的需求日益增加。柱面便是其中一种特殊的二次曲面。柱面在子午和弧矢方向的光焦度不同,能够实现特殊的成像,在光束整形领域有着独一无二的作用。目前,高精度柱面的实际应用还十分有限,主要原因在于高精度柱面的面形检测十分困难,这使得高精度柱面的加工陷入瓶颈。本论文主要的工作内容是研究大口径凹圆柱面的检测技术,这是一种以计算全息法为检测手段,通过拼接的方式检测大口径凹圆柱面反射镜的高精度面形检测方法。该检测方法可以实现一套光路设备检测一定范围内任意曲率半径的凹圆柱面镜,无需单独设计,可降低检测成本。本论文研究工作的主要任务是解决大口径凹圆柱面计算全息设计的理论和技术问题,研究计算全息检测圆柱面图像的一维拼接,发展一种检测大口径凹圆柱面镜的方法。论文的的研究工作包括以下几个部分。1介绍了现有的非球面检测方法及其特点,对该方法在传统非球面使用情况进行调研,分析其优势和局限性,选择适用于柱面检测的方法作为研究方向,为后续研究奠定基础。2阐述了计算全息的工作原理,分析使用计算全息检测圆柱面需要对全息片和光...

【文章页数】：68 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图１．４：法线入射法测量柱面的示意图．??

涉图通常为扇形或环形，测量结果不能直观地反映出被测柱面的面形轮廓误差，??需要进一步将测量数据展开成矩形分布。??法线入射法，顾名思义，测量光路沿着被测面形的法线方向入射如图１．４所??示，可直接获得轮廓沿其法线方向的偏差ＰＷ。法线入射法检测柱面采用一块零??位补偿器（如计算全息....

图1.13CGH检测主次镜面形与位置精度ReneZehnder等人[34]研制出了具有光路对准功能的CGH，从而实现了面形测

国防科技大学研究生院博士学位论文第11页图1.13CGH检测主次镜面形与位置精度ReneZehnder等人[34]研制出了具有光路对准功能的CGH，从而实现了面形测量过程中CGH和待测镜的精确装调。长春光学精密机械与物理研究所的张学军等人设计了一种CGH[53]可以同时检测主镜与....

图1.14利用CGH检

国防科技大学研究生院博士学位论文第11页图1.13CGH检测主次镜面形与位置精度ReneZehnder等人[34]研制出了具有光路对准功能的CGH，从而实现了面形测量过程中CGH和待测镜的精确装调。长春光学精密机械与物理研究所的张学军等人设计了一种CGH[53]可以同时检测主镜与....

图2CGH干涉法测量柱面镜原理图

射产生的影响较大。在这三类误差中，轴向的法向量分量n‖‖‖是改变X射线传播方向，使其偏离聚焦位置的主要因素，因此轴向面形误差对系统的聚焦性能影响最大[10]，因此，在实际过程中，一般只需要测量轴向误差，实现柱面镜的快速测量与性能评价。2柱面镜检测方法和表征指标采用基于计算全息的零....

本文编号：3899331