飞秒激光直写加工柱面微透镜阵列的方法研究

发布时间：2024-06-28 00:12

　　<正>柱面微透镜阵列在叠阵半导体激光器快慢轴准直、裸眼3D成像、平行加工等领域有着广泛应用。针对半导体激光器领域:随着输出功率增大,尺度缩小;用于准直的透镜单元宽度由目前500μm朝100μm内缩减,长度维持mm量级,基材朝石英玻璃等高强度材料发展。目前适用于单元宽度100μm以内透镜阵列制造的方法均受限于聚合物材料,且受占空比小、效率低等缺陷影响,均难以满足工业发展需求。飞秒激光以其超快、超强的独特优势,可对所有材料实现冷加工,且加工尺

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